나노/마이크로급 제조 환경에서 열변형으로 인한 편차 제로화 환경 조성용 초정밀 환경제어 원천기술의 국산화에 성공하였습니다.
Automation Technology
지능형 산업용 정밀환경제어 시스템 국산화 솔루션 구성도
제품 스펙